F-400/3500 turbomolecular pump

F-400/3500 turbo molecular pump

model                                                                    F-400/3500 / F-400 / 3500N

Pumping rate (L / s)                                             3500      / 3500

Compression ratio                                                 N2: 108; H2: 5 × 102/ N2: 108; H2: 5 × 102

Ultimate pressure (Pa)                                          ≤6 × 10-6     / ≤6 × 10-6

Exhaust port flange                                               DN100 LF /DN100 LF

Air inlet flange                                                        DN400 LF /  DN400 LF

Bearing                                                                  Precision Ceramic Bearing/ Precision ceramic bearings (required pass protective gas)

Start Time (min)                                                   <18   / <18

Rated speed (rpm)                                               13,500 / 13,500

Vibration value ((mm))                                          ≤0.5    / ≤0.5

Recommend forepump (L / s)                               30  / 30

Cooling water temperature (℃)                             ≤25/   ≤25

Pump baking temperature (℃)                               ≤80     /≤80

Ambient Temperature (℃)                                      5-40 /5-40

Oil-filled volume (ml)                                               150/ 150

Faucets                                     The inner diameter of Φ10-line self-sealing/The inner diameter of Φ10-line self-sealing

Installation                                                              Vertical ± 5 °/Vertical ± 5 °

Weight (kg)                                                              136/136